美國Tousimis C系列觸摸屏全自動臨界點干燥儀 _晶圓專用CPD（清潔室版本）。C系列為立式（落地式）大型臨界點干燥儀，可在超凈間工作，有3個型號可選： 1）Autosamdri-934，用于不超過4"的晶圓超臨界干燥 2）Automegasamdri-936，用于不超過6"的晶圓超臨界干燥 3）Automegasamdri-938，用于不超過8"的晶圓超臨界干燥

美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結(jié)構(gòu)的脆弱復(fù)雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導(dǎo)體晶圓等材料類樣品的臨界點干燥。利用CO2臨界點狀態(tài)無液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實形貌的干燥樣品，是含水或其它液體的細胞組織等生物樣品、半導(dǎo)體等材料樣品干燥制樣的有效方法；具有操作簡便、控制精確、結(jié)果可重復(fù)等特點。Autosamdri-931 Cleanroom系列，采用防靜電設(shè)計，適合潔凈室（超凈間）材料制造應(yīng)用；默認“自動模式”設(shè)置，適用于大多數(shù)晶圓和裸片MEMS應(yīng)用；每次可處理多達 5片基板（晶圓或裸片）；該系列為臺式臨界點干燥儀，有3個型號可選：1）Autosamdri-931_1.25"，用于1"的晶圓臨界點干燥。2）Autosamdri-931_2.50"，用于不超過2"的晶圓臨界點干。3）Autosamdri-931_3.40"，用于不超過3"的晶圓臨界點干燥

美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結(jié)構(gòu)的脆弱復(fù)雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導(dǎo)體晶圓（最大樣品尺寸8英寸，一次同時干燥5片）等材料類樣品的臨界點干燥。利用二氧化碳(CO2)臨界點狀態(tài)無液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實形貌的干燥樣品，具有操作簡便、控制精確、結(jié)果可重復(fù)等特點。該系列CPD通過微處理控制器來實現(xiàn)自動處理過程，采用防靜電設(shè)計，適合潔凈室（超凈間）材料制造應(yīng)用；該系列為臺式全自動臨界點干燥儀，有2個型號可選：1）AUTOSAMDRI-815 Series B，用于1"的晶圓超臨界干燥。2）AUTOSAMDRI-815B Series B，用于不超過4"的晶圓超臨界干燥

美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結(jié)構(gòu)的脆弱復(fù)雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導(dǎo)體晶圓（最大樣品尺寸8英寸，一次同時干燥5片）等材料類樣品的臨界點干燥。利用CO2臨界點狀態(tài)無液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實形貌的干燥樣品，是含水或其它液體的細胞組織等生物樣品、半導(dǎo)體等材料樣品干燥制樣的有效方法；具有操作簡便、控制精確、結(jié)果可重復(fù)等特點?？蛻艨苫诓煌膽?yīng)用選擇不同的型號。AUTOSAMDRI-915B Series B全自動臨界點干燥儀（CPD），通過微處理控制器來實現(xiàn)自動處理過程，采用防靜電設(shè)計，適合潔凈室材料制造應(yīng)用；每次運行可處理5 x 6"直徑的晶圓，也可一次處理或 5 x 4"、?5 x 3"、5 x 2"直徑的晶圓或者 5 x 10mm 方形裸片；腔室直徑：6.5" I.D.